Обикновено има два процеса на пречистване на отпадъчните газове в индустрията на силиконовата нефт
RTO регенеративно термично горенеиМетод на спрей + Активиран въглерод адсорбция. Устройството за обработка на отработените газове включва сепаратор на газово-течност, дълбок кондензатор, кула за измиване на киселина, кула за миене на алкали, сух филтър, пещ за каталитично горене RTO и комина за отработени газове.